呂志鵬

Leu, Jihperng・工學院・材料科學與工程學系所、材料科學與工程學系奈米科技碩博士班

碩士平均畢業時長

2.47 年

中位數 2.24 年・34 人

在職專班平均畢業時長

4.85 年

中位數 4.85 年・2 人

博士平均畢業時長

6.10 年

中位數 5.93 年・9 人

收錄論文

46 篇

100–109 學年度

全校中位數（供對照）

碩士 2.10・在職專班 2.08・博士 6.11 年

畢業時長趨勢

每學年度畢業人數

只計入有論文收錄的畢業生；中途休學或更換指導教授的學生不會出現在這裡。

研究關鍵字

碳氮化矽薄膜低介電材料PECVDsilicon carbonitride射頻電漿輔助化學氣相沉積法low-k紫外光輔助退火UV-assisted thermal annealing碳氮化矽表面改質surface modificationYoung’s moduluspore morphologyGISAXS電漿輔助化學氣相沉積film stresslow-k material二氧化鈦WVTR起孔洞劑porogen蝕刻速率折射率etch raterefractive index奈米雙晶銅應力鬆弛stress relaxationreliabilityResistive switching低介電常數methylene blue矽氮烷silazane precursor低介電SiCxNy應力stressPulsed laser deposition (PLD)The thermoelectric power factor (PF = α2σ)蝕刻終止層transmittance陽極氧化PolyimideRF-PECVD水氣穿透速率偏光板漏光現象PolarizerLight leakage

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指導論文

學年度	論文	學制	入學	提交日期	畢業時長
109	CF4-O2電漿蝕刻混合型有機矽玻璃薄膜之探討 CF4-O2 Plasma Etching of Hybrid Organosilicate Glass Films 材料科學與工程學系所混合型有機矽玻璃薄膜、蝕刻速率、折射率、表面改質、碳橋、hybrid organosilicate films、etch rate、refractive index、surface modification、carbon bridges	碩士	107	2021-01-26	2.49 年
109	鈷鈍化層對奈米雙晶銅膜的應力鬆弛影響、機制與活化能之研究 Stress Relaxation, Mechanism, and Activation Energy of Cobalt-passivated Nano-Twinned Copper Films 材料科學與工程學系所奈米雙晶銅、鈍化層、鈷、應力鬆弛、晶界擴散、可靠度測試、nano-twinned copper、passivation layer、cobalt、stress relaxation、grain-boundary diffusion、reliability	碩士	107	2020-10-28	2.24 年
108	氧化鉿電阻式記憶體可靠度之研究 A Reliability Study of HfO2-based resistive switching memory 材料科學與工程學系所電阻式記憶體、可靠度、氧化鉿、轉態機制、耐用度、資料保存、Resistive switching、reliability、switching mechanism、Hafnium oxide、endurance、retention	碩士	106	2020-01-07	2.43 年
108	以矽氮烷前驅物利用電漿輔助原子層沉積碳氮化矽薄膜之研究 Plasma-enhanced Atomic Layer Deposited Silicon Carbonitride Films Using Silazane Precursors 材料科學與工程學系所低介電阻障層、蝕刻停止層、電漿輔助原子層沉積、矽氮烷前驅物、低介電常數、碳氮化矽薄膜、表面改質、原子層沉積成長機制、low-k、diffusion barrier、etch-stop、plasma-enhanced、atomic layer deposition (PEALD)、silazane precursors、silicon carbonitride、surface modification、growth mechanism	碩士	106	2020-01-07	2.43 年
108	簡易方法合成石墨烯-氧化鋅複合物及其光催化特性應用之研究 A facile synthesis of Graphene-ZnO hybrids and its application in photocatalysis 材料科學與工程學系所超音波輔助合成、超音波電化學剝離法、石墨烯-氧化鋅複合物、亞甲基藍、光催化降解、Ultrasonic-assisted synthesis、sonoelectrochemical exfoliation、graphene-ZnO hybrids、methylene blue、photocatalytic degradation	碩士	106	2019-11-11	2.28 年
108	不同碳橋對多孔低介電有機矽酸鹽薄膜性能影響之研究 Effects of Various Carbon-Bridges on the Properties of Low-k Porous Organosilicate Glass Thin Films 材料科學與工程學系所有機矽酸鹽薄膜、低介電常數、電介質、碳橋接、楊氏模量、紫外光輔助退火、孔洞型態、掠角小角度X光散射、Organosilicates glass films、low-dielectric-constant、dielectrics、Carbon bridge、Young’s modulus、UV-assisted thermal annealing、pore morphology、GISAXS	碩士	106	2019-01-07	1.43 年
107	以矽氮烷前騶物利用電漿輔助原子層沉積之碳氮化矽薄膜與其電阻轉態行為 PEALD Silicon Carbonitride Films using a Silazane Precursor and Its Resistive Switching Behavior 材料科學與工程學系所碳氮化矽薄膜、電阻轉態、選擇器、矽氮烷、組成含量、電漿輔助原子層沉積法、薄膜密度、折射率、silicon carbonitride (SiCxNy)、Resistive switching、selector、silazane precursor、PEALD、film density、refractive index、composition	碩士	105	2019-04-27	2.74 年
107	紫外光輔助熱退火處理對碳橋接式低介電碳氮化矽薄膜影響之研究 UV-assisted thermal annealing of Low-k Carbon-Bridged Silicon Carbonitride Films 材料科學與工程學系所低介電、碳氮化矽、擴散阻障層、電漿輔助化學氣相沉積、紫外光輔助熱退火處理、乙烯橋、low-k、SiCxNy、barrier、PECVD、UV-Annealing、ethylene-bridge	博士	101	2018-12-17	6.38 年
107	開發差分法石英晶體微量天秤原位偵測化學反應 Development of Differential Quartz Crystal Microbalance for in-situ Detection of Chemical Reactions 材料科學與工程學系奈米科技碩博士班石英晶體震盪器、聚甲基丙烯酸甲酯、熱解反應、縮和反應、奈米群集二氧化矽多孔性低介電薄膜、快速退火爐、熱重分析儀、紫外光、Quartz Crystal Microbalance、Thermogravimetric analysis、poly methyl methacrylate、nano-clustering silica、rapid thermal annealing、decomposition reaction、condensation reaction、Ultraviolet	碩士	104	2018-08-29	3.08 年
107	電鍍沉積奈米雙晶銅膜熱應力行為與應力鬆弛現象之研究 Thermal Stress and Stress Relaxation Behavior in Electroplated Nano-twinned Copper Films 材料科學與工程學系奈米科技碩博士班翹曲量、電鍍、熱應力、應力鬆弛、薄膜、奈米雙晶銅、彎曲梁技術、Nanotwinned Copper、Electroplating、Thermal Stress、Stress Relaxation、thin film、bending beam technique、warpage	碩士	105	2018-08-29	2.08 年
107	電漿輔助化學氣相沉積碳氮化矽薄膜之應力與熱膨脹係數研究 Intrinsic stress and thermal expansion coefficient of PECVD silicon carbonitride films using silazane precursors 材料科學與工程學系所電漿輔助化學氣相沉積、矽碳氮膜、應力、熱膨脹係數、PECVD、SiCN、stress、thermal expansion coefficient	碩士	105	2018-08-29	2.08 年
107	脈衝雷射沉積Bi2Se2Te和Bi3Se2Te薄膜之熱電與磁輸運特性 Thermoelectric and magnetotransport properties of Bi2Se2Te and Bi3Se2Te thin films grown using pulsed laser deposition 材料科學與工程學系所熱電、拓撲絕緣體、Bi2Se2Te、Bi3Se2Te、納米晶體薄膜、脈衝雷射沉積（PLD）、熱電功率因數（PF =α2σ）、磁輸運性質、Thermoelectrics、Topological Insulators、Nanocrystalline films、Pulsed laser deposition (PLD)、The thermoelectric power factor (PF = α2σ)、Magnetotransport properties	博士	103	2018-08-28	4.07 年
106	電漿輔助化學氣相沈積碳氮化矽薄膜之應力研究 Studies on the stress of PECVD silicon carbonitride films using silazane precursors 材料科學與工程學系所碳氮化矽薄膜、矽氫鍵結、薄膜應力、微機電系統、射頻電漿輔助化學氣相沉積法、傅立葉轉換紅外線光譜分析、矽氮烷、鍵結角度、silicon carbonitride、Si-H、PECVD、film stress、FTIR、MEMS、silazane precursor、bond angle	碩士	104	2017-10-10	2.19 年
105	BCD製程之SOI-LDMOS製程與元件模擬 Process and Device Simulation of Silicon-on-Insulator Lateral-Diffusion MOS in Bipolar-CMOS-DMOS Technology 工學院半導體材料與製程設備學程 SOI-LDMOS、Sentaurus TCAD、Self-heating、Thermodynamic transport	碩士在職專班	101	2016-11-16	4.29 年
105	電漿輔助化學氣相沈積碳化氮及碳氮化矽薄膜之結構與光學性質 Structure and optical properties of carbon nitride and silicon carbonitride films prepared by PECVD 材料科學與工程學系所發光二極體、藍光傷害、電漿輔助化學氣相沈積、碳氮化矽、碳化氮、光學穿透度、LED、Blue light hazards、PECVD、carbon nitride、silicon carbonitride、optical transmittance	碩士	103	2016-10-12	2.20 年
105	紫外光輔助退火對電漿輔助化學氣相沉積低介電碳氮化矽薄膜之影響 UV-assisted thermal annealing of PECVD Low-k Silicon Carbonitride Films 材料科學與工程學系所碳氮化矽薄膜、低介電材料、蝕刻終止層、射頻電漿輔助化學氣相沉積法、紫外光輔助退火、silicon carbonitride、low-k dielectrics、PECVD、film stress、UV-assisted thermal annealing、Young’s modulus	碩士	103	2016-09-06	2.10 年
105	紫外光輔助退火對電漿輔助化學氣相沉積碳氮化矽薄膜在結構和光學性質上之影響 Effect of UV-assisted thermal annealing on structure and optical properties of silicon carbonitride films prepared by PECVD 材料科學與工程學系所碳氮化矽薄膜、穿透率、射頻電漿輔助化學氣相沉積法、彈性係數、殘留應力、紫外光輔助退火、silicon carbonitride、transmittance、PECVD、Young’s modulus、film stress、UV-assisted thermal annealing	碩士	103	2016-08-30	2.08 年
105	利用簡易退火製程提升氮摻雜二氧化鈦奈米管陣列之光催化性能 Enhanced Photocatalytic Performance of Nitrogen-doped TiO2 Nanotube Arrays using Facile Annealing Process 材料科學與工程學系所氮摻雜二氧化鈦奈米管陣列、陽極氧化、光催化活性、簡易退火、氮流量、N-doped TNAs、anodization、photocatalytic activity、facile annealing process、nitrogen flow rate	碩士	103	2016-01-02	1.42 年
104	暫時性接著技術中聚亞醯胺基板與玻璃載板間離形能力之探討 Temporary Bonding Technology: Investigation on The Interfacial Releasing Ability between Polyimide Substrate and Glass Carrier 平面顯示技術碩士學位學程聚亞醯胺、玻璃、暫時性接著技術、離形能力、風化、Polyimide、Glass、Temporary bonding technology、Releasing ability、Weathering	碩士	98	2016-09-28	7.16 年
104	紫外光輔助退火後處理對碳氮化矽薄膜的影響 Investigation on UV-assisted thermal treatment of SiCxNy Thin Films 材料科學與工程學系所碳氮化矽薄膜、射頻電漿輔助化學氣相沉積法、低介電材料、紫外光輔助退火、SiCxNy thin films、low-k material、RF-PECVD、UV-assisted thermal annealing	碩士	102	2015-08-30	2.08 年
104	含氟氣體蝕刻二氧化鈦之研究 Etch Study of Titanium Oxide Film by Fluorine-based Chemistries 材料科學與工程學系所金屬硬遮模、以氟為主的蝕刻劑、氮化鈦、二氧化鈦、雙鑲嵌製程、蝕刻速率、蝕刻選擇比、Metal hardmask、Fluorine-based etchants、Titanium nitride、Titanium dioxide、Dual damascene patterning、Etch rate、Etch selectivity	碩士	102	2015-08-29	2.08 年
104	碳氮化矽/電漿聚合高分子多層結構的阻擋水氣性能探討 Moisture barrier performance of SiCxNy/plasma-polymerized polymer multi-layered structure 材料科學與工程學系所水氣穿透速率、碳氮化矽、針孔缺陷、等離子聚合聚合物、表面改質、WVTR、silicon carbonitride、pinhole defect、plasma-polymerized polymer、surface modification	碩士	102	2015-08-26	2.07 年
103	溴化十二烷基二甲胺致孔劑對低介電多孔性MSQ結構與性質的影響 Effects of Domiphen Bromide porogenon the Structures and Properties of Porous Low-k Methyl Silsesquioxane 工學院加速器光源科技與應用學位學程・共同指導：莊偉綜低介電材料、旋轉塗佈、多孔性薄膜、Methylsilsesquioxane (MSQ)、溴化十二烷基二甲胺、Low-k material、Spin-coating、Porous films、Domiphen bromide(DB)	碩士	101	2015-08-09	3.02 年
103	偏光板元件濕熱變形對液晶面板漏光現象之影響 Effects of hygrothermal deformation of polarizer components on light leakage in thin-film transistor liquid-crystal displays 材料科學與工程學系所偏光板、漏光現象、應力、彎柄儀、有限元素分析、相位遲延、Polarizer、Light leakage、Stress、Bending beam、Finite element analysis、Phase retardation	博士	95	2015-06-05	8.84 年
103	電漿輔助化學氣相沉積碳氮化矽薄膜之光學性質:探討前驅物與沈積條件之影響 The Optical Properties of PECVD SiCxNy Films: Effects of Precursors and Deposition Conditions 材料科學與工程學系所碳氮化矽薄膜、高含碳前驅物、光學性質、電漿輔助化學氣相沉積、silicon carbonitride films、carbon-rich single precursor、optical properties、PECVD	碩士	101	2015-02-24	2.57 年
103	以脈衝雷射所沉積碲化錫薄膜之熱電特性 Thermoelectric properties of Tin Telluride Thin Films Grown using Pulsed Laser Deposition 材料科學與工程學系所熱電材料、碲化錫、奈米結構薄膜、脈衝雷射沉積、基板溫度、熱電功率因子、Thermoelectric materials、SnTe、nanostructured films、pulsed laser deposition、substrate temperature、the thermoelectric power factor	碩士	101	2014-09-04	2.09 年
103	以高含碳前驅物利用電漿輔助化學氣相沉積法製備低介電碳氮化矽薄膜 Low-k SiCxNy Films Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Using Single-Precursor with High Carbon Content 材料科學與工程學系所碳氮化矽薄膜、低介電材料、蝕刻終止層、射頻電漿輔助化學氣相沉積法、高含碳單一前驅物、SiCxNy thin film、low-k material、etch stop layer、RF-PECVD、carbon-rich single precursor	碩士	101	2014-09-04	2.09 年
103	脈衝雷射沉積之硒化鉍與碲化鉍熱電薄膜: 結構，組成和形貌對熱電性質之影響 Bi2Se3 and Bi2Te3 Thermoelectric Thin-Films Grown using Pulsed Laser Deposition: Effects of Structure, Composition, and Morphology on the Thermoelectric Properties 材料科學與工程學系所熱電材料、Bi2Se3、Bi2Te3、奈米結構薄膜、脈衝雷射沉積 (PLD)、沈積溫度、壓力、熱電功率因子（PF = α2σ）、Thermoelectric materials、nanostructured films、pulsed laser deposition (PLD)、substrate temperature、ambient pressure、the thermoelectric power factor (PF = α2σ)	博士	99	2014-08-11	4.03 年
103	利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究 Low dielectric constant silicon carbonitride films prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition 材料科學與工程學系所低介電、碳氮化矽薄膜、起孔洞劑、孔洞形貌、低掠角小角度X光散射、low-k、silicon carbonitride (SiCxNy) films、porogen、pore morphology、GISAXS	博士	96	—	無法計算
102	以溴化十六烷基三甲銨為模板劑對低介電材料之結構與性質之影響 Structures and Properties of Cetyltrimethylammonium bromide Templated Low-dielectric-constant materials 材料科學與工程學系所低介電材料、溴化十六烷基三甲銨、甲基三甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、low dielectric constant materials、CTAB、MTMS、TEOS	碩士	100	2014-07-23	2.98 年
102	以低溫電漿輔助化學氣相沉積多層碳氮化矽/電漿聚合高分子水氣阻障膜 Low-temperature PECVD deposited SiCxNy/Plasma-polymerized polymer multi-layered moisture barrier 材料科學與工程學系所水氣穿透速率、可撓式有機發光二極體、水氣阻障膜、薄膜封裝、WVTR、FOLED、moisture barrier、thin-film passivation	碩士	100	2014-01-19	2.47 年
102	利用複合式奈米球微影術製作對可見光具高穿透結構之研究 A Study of High Transparent Structure in Visible Wavelengths Using Compound Nanosphere Lithography 影像與生醫光電研究所・共同指導：馬哲申聚苯乙烯球、奈米球微影術、反應式離子蝕刻、高寬比、光穿透比例、polystyrene sphere、nanosphere lithography、reactive ion etching、aspect ratio、light extraction rate	碩士	100	2013-09-02	2.09 年
102	二氧化鈦奈米線連接二氧化鈦奈米管陣列複合結構之製備及其光觸媒性質 Synthesis of TiO2 Nanowires on TiO2 Nanotubes arrays (TNWs/TNAs) Hybrid Structure and their Photocatalytic Performance 材料科學與工程學系所陽極氧化法、二氧化鈦、奈米管、奈米線、光觸媒、甲烯藍、anodic oxidation、TiO2、nanotubes、nanowires、Photocatalytic、methylene blue	碩士	100	2013-08-27	2.07 年
102	以超音波噴霧熱解法製備氟摻雜氧化錫薄膜 Fluorine-doped tin oxide thin films prepared by ultrasonic spray pyrolysis method 材料科學與工程學系所超音波噴霧熱解、氟摻雜氧化錫薄膜、攜帶氣體、光電性質、Ultrosonic spray pyrolysis、FTO thin films、Carrier gas、Electrical and optical properties	碩士	100	2013-08-26	2.07 年
101	溝渠式金氧半場效電晶體的閘極氧化層可靠度之改良研究 A Study on the improvement of Gate Dielectric Reliability for Trench Power MOS 工學院半導體材料與製程設備學程閘極、功率元件、溝渠式、Gate oxide、Power Device、Trench	碩士在職專班	96	2012-12-23	5.40 年
101	二氧化鈦奈米管陣列與複合結構在染料敏化太陽能電池之應用 Dye-Sensitized Solar Cell using TiO2 Nanowires on Anodic TiO2 nanotube Arrays (TNWs/TNAs) 照明與能源光電研究所・共同指導：楊界雄染料敏化太陽能電池、二氧化鈦、陽極氧化處理、DSSC、TiO2、Anodizing oxidation	碩士	99	2012-10-22	2.23 年
100	超低介電孔洞材料MSQ薄膜中起孔洞劑聚集行為及孔洞形貌控制之研究 The Porogen Aggregation Behavior, Pore Size, And Size Control of Ultra-low-k Porous Organosilicate Films Based on MSQ/porogen Hybrid System 材料科學與工程學系所低介電材料、起孔洞劑、孔洞大小、孔隙率、小角度散射、low-k、porogen、pore size、porosity、GISAXS	博士	94	2012-07-24	6.98 年
100	以飛秒雷射誘發氧化銦錫薄膜表面之週期奈米點及奈米線結構 Periodic Nanodots and Nanolines on Indium-Tin-Oxide Films Induced by Femtosecond Laser Pulses 材料科學與工程學系所飛秒雷射、氧化銦錫、週期奈米點、週期奈米線、表面電流、光學異相性、Femtosecond laser、Indium-tin-oxide、Periodic nanodots、Periodic nanolines、Surface current、Optical anisotropic property	博士	95	2012-07-05	5.93 年
100	以離子液體為模板劑所製備奈米孔洞低介電薄膜之孔洞形貌與排列性質之探討 Pore Morphology and Ordering of Ionic Liquid Templated-TEOS Nanoporous Low-k Thin Films 材料科學與工程學系所離子液體、低介電材料、起孔洞劑、孔洞形貌、ionic liquid、low dielectric materials、porogen、pore morphology	碩士	98	2012-07-02	2.92 年
100	偏光板元件之熱機械性質與黏彈特性對TFT-LCD漏光現象之探討 Effects of Thermomechanical and Viscoelastic Properites of Polarizer Components on Light Leakage in TFT-LCD 材料科學與工程學系所偏光板、漏光現象、有限元素分析法、熱機械性質、黏彈特性、polarizer、light leakage、finite element analysis、thermomechanical properites、viscoelastic properties	碩士	98	2012-02-17	2.55 年
100	於聚對苯二甲酸乙二酯軟性基板上以低溫電漿輔助化學氣相沉積多層碳氮化矽/聚苯乙烯高性能水氣阻障膜 Low-temperature PECVD deposited SiCxNy/polystyrene multi-layered, high-performance moisture barrier on flexible PET fil 材料科學與工程學系所薄膜封裝、碳氮化矽、水氣量測、WVTR、moisture、SiCxNy、barrer layer、pinhole	碩士	98	2012-02-17	2.55 年
100	應用於可撓式基材之高透明度及高玻璃轉換溫度聚醯亞胺之合成及結構與性質之探討 Synthesis and structure-property relationship of transparent, high Tg polyimide films for flexible substrate applications 材料科學與工程學系所聚醯亞胺、穿透度、可撓的、polyimide、transmittance、flexible	碩士	98	2012-02-17	2.55 年
100	新穎混合型與奈米群聚型多孔隙低介電材料之結構與性質關係研究 Study on the structure-property relationship of porous low-k dielectrics based on novel hybrid and nano-clustering materials 材料科學與工程學系所低介電材料、多孔隙材料、延後移除高溫起孔洞劑製程、奈米群聚、改良型矽氧基沸石、low-k materials、porous materials、post-integration porogen removal scheme、nano-clustering、modified silica zeolite	博士	95	2012-02-17	5.55 年
100	一維奈米針矩陣的製作與特性分析 Synthesis and Characterization of One-Dimensional Nanotip Arrays 材料科學與工程學系所・共同指導：陳家富、陳貴賢、林麗瓊化學氣相沈積、高準直奈米針、一維奈米結構、碳化矽、自組裝乾蝕刻技術、chemical vapor deposition (CVD)、well aligned nanotip arrays、1-D nano structure、SiC、self-masked dry etching (SMDE) technology	博士	92	2011-12-09	8.36 年
100	利用奈米球微影術製作抗反射結構之研究 A Study of Antireflective Structure Using Nanosphere Lithography 材料科學與工程學系所抗反射結構、有機發光二極體、有限時域差分法、奈米球微影術、antireflective structure、OLED、FDTD、nanosphere lithography	碩士	97	2011-09-08	3.10 年
100	二氧化鈦奈米管陣列與複合結構之形貌與結構特性及其光催化性質之研究 Morphological and Microstructural Study on TiO2 Nanotube Arrays and Hybrid Structure and Their Photocatalytic Performance 材料科學與工程學系所陽極氧化、二氧化鈦奈米管陣列、X光吸收近邊緣結構、準分子雷射、複合結構、Anodic oxidization、Titanium dioxide nanotube arrays (TNAs)、X-ray absorption near-edge structure spectroscopy (XANES)、Excimer laser annealing、Hybrid Structure	博士	95	2011-05-21	4.80 年